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半导体连续隧道炉烘干线的温度控制

(一)概述

半导体器件需在连续隧道炉烘干线上进行烘干，炉内温度必须按一定要求变化，即有升温、保温、降温过程。所以，隧道炉烘干线的温度控制是很重要的。

(二)系统组成和控制原理

这是一个连续的生产过程。隧道炉烘干线分成7个区，分别装有加热器。需要烘干的半导体路件技时间要求顺序从第1区运行到第7区(例如根据工艺要确定1， 2区为升温区，3， 4， 5区为保温区，6， 7区为降温风)。温度控制系统由热电偶、调节器、调压器和加热器组成，以控制各区的温度，满足产品的要求，达到节能的目的。

高温烘箱耐高温隔热保温涂料优点分析

高温烘箱耐高温隔热保温涂料优点：

1、导热系数低，隔热保温效果显著，可以有效阻止热传导，高温烘箱的热能利用率可以达到98%；

2、可与基层quab面黏结，整体性附着力强，特别适用于其它隔热保温材料难以解决的异型设备保温；

3、阻燃性好，环保性强；

4、施工相对简单，可采用人工涂抹的方式进行；

5、涂料应用广泛，建筑、工业等广泛使用；

6、耐温高，采用志盛威华te制的高温溶液，耐温可以达到1800℃，可以长时间在高温、火中使用；

7、安全环保，隧道烘干炉生产，ZS-1志盛耐高温隔热保温涂料无闪点，常温高温下无任何异味产生，无任何***物质产生；

8、硬度高，硬度可以达到7H，耐磨性高；

9、绝缘性，防火阻燃等级高.

隧道炉烘干线需要改进的地方

.由于它是连续性的窑护，烧成制度改变的灵活性较 差，隧道烘干炉生产厂家，对多品种、小批量的生产来说，隧道炉烘干线较难适应。

2.隧道炉烘干线是一种平焰式的窑炉，气流在隧道中流动时， 总的方向近于水平。这样，就容易产生气体分层，许昌隧道烘干炉，增大上下温 差。各种气幕装置的设置，除了满足制品烧成的一些特定要 求外，隧道烘干炉厂家，都存一个共同的作用，那就是搅拌窑内气体，减小上下 温差，弥补隧道炉烘干线.平焰，这一缺陷。

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